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行業(yè)知識-> 水質指標-> 中華人民共和國國家標準行業(yè)超純水標準

中華人民共和國國家標準行業(yè)超純水標準

中國電子行業(yè)超純水國家標準
(GB/T11446.1-1997 )

指標名稱	一級水（EW-1）	二級水（EW-2）
電阻率MΩ.CM. （25℃）	18(95‰時間)不低于17	15(95‰時間)不低于13
硅　　　≤μg/L	2	10
微粒數(shù)　＞1μm	0.1	5
細菌個數(shù)　≤個/ml	0.01	0.1
銅　　　≤μg/L	0.2	1
鋅　　　≤μg/L	0.2	1
鎳　　　≤μg/L	0.1	1
鈉　　　≤μg/L	0.5	2
鉀　　　≤μg/L	0.5	2
氯　　　≤μg/L	1	1
硝酸根　　≤μg/L	1	1
磷酸根　　≤μg/L	1	1
硫酸根　　≤μg/L	1	1
總有機碳　≤μg/L	20	100

中國國家電子級超純水GB/TII446.1－1997標準

指標\級別	EW－Ⅰ	EW－Ⅱ	EW－Ⅲ	EW-Ⅳ
電阻率 MΩ，cm(25℃)	18以上，（95％時間）不低于17	15，（95％時間）不低于13	12.0	0.5
全硅，最大值,μg/L	2	10	50	1000
＞1μm微粒數(shù)，最大值，個/mL	0.1	5	10	500
細菌個數(shù)，最大值，個/mL	0.01	0.1	10	100
銅，最大值，μg/L	0.2	1	2	500
鋅，最大值，μg/L	0.2	1	5	500
鎳，最大值，μg/L	0.1	1	2	500
鈉，最大值，μg/L	0.5	2	5	1000
鉀，最大值，μg/L	0.5	2	5	500
氯，最大值，μg/L	1	1	10	1000
硝酸根，最大值，μg/L	1	1	5	500
磷酸根，最大值，μg/L	1	1	5	500
硫酸根，最大值，μg/L	1	1	5	500
總有機酸，最大值，μg/L	20	100	200	1000

中國實驗室用水國家標準
實驗用三個等級凈化水的技術要求(GB6682－1992)

一級水：基本上不含有溶解或膠態(tài)離子雜質及有機物。它可用二級水經進一步處理而制得。
二級水：可含有微量的無機、有機或膠態(tài)雜質。
三級水：適用一般實驗室實驗工作。

指標名稱	一級	二級	三級
pH值范圍（25oC )	—	—	5.0-7.5
電導率（25oC )(μs/cm) ≤	0.1	1.0	5.0
可氧化物的限度試驗	—	符合	符合
吸光度(254nm,1cm 光程) ≤	0.001	0.01	—
二氧化硅(mg/L) ≤	0.02	0.05	—

                                 中國實驗室用水國家標準
                                   實驗用三個等級凈化水的技術要求(GB6682－2008)
純水水質按照GB6682-2008水標準進行分類，可以分為以下三類：
（1）三級水標準，電阻率0.2 MΩ.cm @ 25℃；
（2）二級水標準,電阻率≥1MΩ.cm @25℃；
（3）一級水標準,電阻率≥18 .25MΩ.cm@25℃。

指標	一級	二級	三級
pH值范圍（25℃）	--	--	5.0-7.5
電導率（25℃），mS/m. ≤	0.01	0.10	0.50
可氧化物質（以0計），mg/L ＜	--	0.08	0.4
吸光度（254nm,1cm光程） ≤	0.001	0.01	--
蒸發(fā)殘渣（105°±2℃），mg/L ≤	--	1.0	2.0
可溶性硅（以SiO2計）mg/L ＜	0.01	0.02	--


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